追溯變壓吸附制氧技術(shù)起源，其實(shí)中國(guó)算較早進(jìn)行研發(fā)的了，20世紀(jì)70年代是中國(guó)PSA分離空氣制氧技術(shù)發(fā)展的鼎盛時(shí)期。全國(guó)有十幾個(gè)單位相繼開展了變壓吸附制氧技術(shù)的實(shí)驗(yàn)研究，建立了數(shù)套工業(yè)試驗(yàn)設(shè)備。

這個(gè)時(shí)期開發(fā)的變壓吸附制氧設(shè)備大多采用高于大氣壓吸附、常壓解吸流程，吸附塔有兩個(gè)到四個(gè)；空氣進(jìn)入吸附塔前，經(jīng)過脫水預(yù)處理；設(shè)備可靠性差，不能連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，導(dǎo)致大部分設(shè)備報(bào)廢；且技術(shù)、經(jīng)濟(jì)指標(biāo)落后。

20世紀(jì)80年代，中國(guó)變壓吸附制氧技術(shù)的開發(fā)再次進(jìn)入低谷。

1995年，昆山錦滬機(jī)械有限公司在河南洛陽(yáng)鋼鐵廠建成VPSAO1000Nm3/h制氧機(jī)，標(biāo)志著變壓吸附在中國(guó)正式進(jìn)入工業(yè)領(lǐng)域，也標(biāo)志著變壓吸附在中國(guó)進(jìn)入高速發(fā)展時(shí)期。

20世紀(jì)90年代是中國(guó)變壓吸附制氧技術(shù)突飛猛進(jìn)向前發(fā)展的時(shí)期，變壓吸附制氧技術(shù)逐漸成熟，甚至有很多綜合技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)已經(jīng)接近國(guó)外先進(jìn)水平。中國(guó)變壓吸附制氧技術(shù)已經(jīng)走出實(shí)驗(yàn)室步入實(shí)用化階段，并通過不斷地研究與開發(fā)，呈現(xiàn)出日新月異的發(fā)展態(tài)勢(shì)。不過從整體上看，中國(guó)制氧機(jī)在很多方面與國(guó)際先進(jìn)水平仍有一定的差距。如在新型高性能的吸附劑的研究、吸附流程的改進(jìn)、理論分析研究和數(shù)學(xué)模型的建立，質(zhì)量監(jiān)控與自動(dòng)化控制等許多方面。